產(chǎn)品及應用
產(chǎn)品分類
◎ 詳情介紹
主要應用于 3-6 英寸 砷化鎵III-V 族化合物半導體晶體材料在高真空狀態(tài)下進行脫氧封管工藝,自動控制系統(tǒng)。
二、指標參數(shù):
三、設備主要特點和優(yōu)勢
1、具備查詢以往測溫記錄;歷史數(shù)據(jù)和溫度曲線。
2、曲線查看功能:具備溫度、氣體、功率、真空度等查看功能;
3、手/自動控制功能:具備溫度,氣體,功率設定,開關閥的控制功能;
4、報警查看功能:具備查詢報警類型的功能;
5、功率限定保護:不同的溫度可設定不同的最高功率;
6、分級管理,不同人員可根據(jù)登陸情況進行不同的參數(shù)修改。
7、數(shù)據(jù)導出功能,可以通過U盤把記錄的溫度,流量數(shù)據(jù)導出到U盤中。
系統(tǒng)硬件具有非常靈活的擴充能力,可方便地為各爐體擴充推拉舟驅動控制功能以及氣體流量計控制功能。
◎ 企業(yè)簡介
青島育豪微電子設備有限公司創(chuàng)建于2008年,是集研發(fā)、制造、銷售為一體的高新技術企業(yè),育豪公司致力于電加熱爐設備、加熱爐體熱場、石墨治具加工領域,產(chǎn)品服務于各類電子器件行業(yè)、半導體材料行業(yè)、太陽能光伏行業(yè)等相關領域。
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育豪公司系國家級高新技術企業(yè),省專精特新企業(yè)、擁有企業(yè)商標注冊權、進出口經(jīng)營權,已通過ISO9001質量管理體系認證,擁有各種專利50+項。
◎ 企業(yè)資質
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