產(chǎn)品及應(yīng)用
產(chǎn)品分類
◎ 詳情介紹
一、設(shè)備概述：
主要應(yīng)用于 3-6 英寸磷化銦、磷化鎵III-V 族化合物半導(dǎo)體晶體材料多晶合成工藝，自動(dòng)控制系統(tǒng)。
二、設(shè)備參數(shù)類型：
三、設(shè)備主要特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)
1★具有強(qiáng)大的操作功能，windows界面，顯示屏操作，用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù)，并可隨時(shí)顯示各種工藝狀態(tài)；配有故障自診斷軟件，可大大節(jié)省維修時(shí)間；
2★采用高可靠性工控機(jī)+PLC模式，對(duì)爐溫、氣體流量、閥門等進(jìn)行全自動(dòng)控制,實(shí)現(xiàn)全部工藝過程自動(dòng)化；
3★程序可以實(shí)現(xiàn)手/自動(dòng)工作，在停電或中途停機(jī)后，再次啟動(dòng)可以根據(jù)工藝手動(dòng)升溫，節(jié)省工藝時(shí)間；
4★氣體流量采用高壓閥精確控制，采用模擬信號(hào)閉環(huán)控制，強(qiáng)弱電分開，氣體打開具有緩啟動(dòng)功能；
5★具有多種報(bào)警功能及安全保護(hù)功能；
6★恒溫區(qū)自動(dòng)調(diào)整，可準(zhǔn)確控制反應(yīng)管的實(shí)際工藝溫度；
◎ 企業(yè)簡(jiǎn)介
青島育豪微電子設(shè)備有限公司創(chuàng)建于2008年，是集研發(fā)、制造、銷售為一體的高新技術(shù)企業(yè)，育豪公司致力于電加熱爐設(shè)備、加熱爐體熱場(chǎng)、石墨治具加工領(lǐng)域，產(chǎn)品服務(wù)于各類電子器件行業(yè)、半導(dǎo)體材料行業(yè)、太陽能光伏行業(yè)等相關(guān)領(lǐng)域。
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育豪公司系國(guó)家級(jí)高新技術(shù)企業(yè)，省專精特新企業(yè)、擁有企業(yè)商標(biāo)注冊(cè)權(quán)、進(jìn)出口經(jīng)營(yíng)權(quán)，已通過ISO9001質(zhì)量管理體系認(rèn)證，擁有各種專利50+項(xiàng)。
◎ 企業(yè)資質(zhì)
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